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上明牌CCQ-A型系列氣動超高真空插板閥是用壓縮空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動氣缸活塞，驅(qū)動閥板作上下運動，實現(xiàn)閥門的開啟或關(guān)閉，從而達到在超高真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。 適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
一.氣動超高真空插板閥主要技術(shù)性能:
| 適用范圍（Pa） | 105～1.3x10-7 |
| 閥門漏率（Pa.L/S） | DN≤200為≤1.3x10-7 DN≥250為≤6.7x10-7 |
| 閥門烘烤溫度（℃） | ≤150（除傳動裝置外） |
| 開閥時閥板兩側(cè)壓力差（Pa） | ≤2.7x10-3 |
| 氣源壓力（MPa） | 0.4～0.6 |
| 電源電壓 | 標(biāo)準出廠：AC220V/50Hz 特殊：AC110V；DC24V；DC12V等 |
| 信號反饋 | 標(biāo)準出廠：不帶反饋信號 特殊：磁性開關(guān)DC/AC5～240V |
二.連接及外形尺寸:
| 型號 | 通徑（DN） | ΦD | ΦD0 | ΦD1 | ΦD2 | ΦD3 | H | A |
| L | L1 | B | 法蘭標(biāo)準 |
| CCQ-50A | 50 | 89 | 72.4 | 61.6 | 55.6 | / | 60 | 91 | 8-M8 | 515 | 153 | 62 | GB/T6071 |
| CCQ-63A | 63 | 114 | 92.1 | 82.6 | 76.6 | / | 65 | 105 | 8-M8 | 590 | 180 | 62 | |
| CCQ-80A | 80 | 130 | 110 | 99 | 93 | / | 65 | 130 | 16-M8 | 608 | 220 | 75 | |
| CCQ-100A | 100 | 152 | 130.2 | 120.7 | 114.7 | / | 70 | 152 | 16-M8 | 655 | 267 | 94 | |
| CCQ-150A | 150 | 202 | 181 | 171.5 | 165.5 | / | 70 | 202 | 20-M8 | 707 | 350 | 94 | |
| CCQ-200A | 200 | 251 | 231.8 | 222.3 | 216.6 | / | 80 | 251 | 24-M8 | 806 | 426 | 112 | |
| CCQ-250A | 250 | 314 | 288 | 308 | 275 | 271 | 85 | 300 | 24-M10 | 1125 | 550 | 112 | JB5278 |
| CCQ-300A | 300 | 365 | 338 | 353 | 323 | 318 | 90 | 352 | 32-M10 | 1195 | 613 | 140 | / |
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